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分立器件全自动光刻机

分立器件全自动光刻机

产品简介

产品特点

■无损掩膜 ■高对位精度 ■高解析 ■高效率 ■支持背面对准 ■兼容厚胶光刻 ■全自动化生产


产品参数

适用产品:

IGBT、光芯片、红外芯片、MEMS、MOS、可控硅、TVS、肖特基二极管、晶振、FRD、SiC SBD、Mini /Micro LED、GPP、ESD




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