产品详情/ Product Details

01高精度纳米级别

非接触测量物体表面形状轮廓，保持样品完好，探头分辨率提高到纳米级，有效分辨率22nm（0.022um），扫描轴最小步距1um，扫描时测量头移动样品不动，减少气流和震动影响

02应用范围广泛

光谱共聚焦测量无三角阴影效应，可测透明物、固体、液体等，对颜色和亮度无关的测量方法，抗干扰能力强，环境光影响低，对物体表面光学特征不敏感，可以测量各种颜色，各种反射度，各种透射率，包括透明材料和镜面反射材料

03磁悬浮驱高精度扫描臂

运动系统采用磁悬浮，超精密导轨，非接触测量不损伤样品，特别适合对未固化的浆料、胶水、油墨湿膜进行高度和截面轮廓测量，同时对多层透明膜厚度测量效果更佳。

04亚微米级测量

控制系统采用光栅尺全闭环反馈控制，亚微米级直线度，光栅尺闭环位置反馈，抗干扰性强，自动纠错，准确度高

05热源隔离设计

高刚性低热膨胀系数花岗石平台和构件，热源隔离设计，扫描时样品相对静止，高重复精度（小于0.1um 于标准量块上），人为误差减少

06高取样密度

高精度采样确保准确度，测量时每截面可达5 万个取样点，每毫米1000 点，高速度，探头采样频率静态2000Hz，动态900Hz

07统计分析功能强大，报表及时打印提高效率

报表统计有Xbar-R均值极差控制图、分布概率直方图、平均值、标准差、CPK等常用统计参数。可追溯性品质管理和记录产品条码或编号，由此追踪到印刷、浆料等工艺参数。制程优化分类统计，可根据不同压力、速度、脱网速度、清洁频 率等进行条件分类统计，可方便地根据不同的统计结果，寻找最稳定的制程参数配置。

检测场景/ Detection scene

• 1银浆镀层
• 2液态膜厚
• 3涂层膜厚
• 4半导体芯片

产品参数/ Product parameters