东莞市安悦电子科技有限公司
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分立器件全自动光刻机
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■无损掩膜 ■高对位精度 ■高解析 ■高效率 ■支持背面对准 ■兼容厚胶光刻 ■全自动化生产
产品参数
适用产品：
IGBT、光芯片、红外芯片、MEMS、MOS、可控硅、TVS、肖特基二极管、晶振、FRD、SiC SBD、Mini /Micro LED、GPP、ESD
GK100-FL
光刻尺寸
4”/6”/8”
分辨率
重复上料精度 ±50μm ，分辨率3μm
工作台模式
双工位
正面对准
/
背面对准
/
WPH
400
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