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PVA超声波扫描显微镜SAM302双探头

品牌:德国PVA TePla,型号:SAM302、SAM301单探头、SAM401、SAM402、SAM2000等,客户:华为、中芯国际、长电、华天、比亚迪、斯达半导体、中车时代、芯联集成、江苏宏微科技、风华高科、三环、清华大学、赛宝等。它可分辨出材料、元件内部的裂纹、空洞、气泡、分层缺陷、杂质等;广泛用于测试芯片、元件、SMT焊接器件、IGBT器件、MEMS器件、晶圆键合、DBC陶瓷基板、倒装芯片、TSV硅通孔、3D叠层塑封、功率器件等内部缺陷的无损检测。

双探头扫描设备可成倍提高扫描效率,且只需1名操作人员,节省人力成本。

超声波扫描显微镜利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异 的特点,从而实现对材料内部缺陷的定性分析,在半导体封装及材料等行业中得到广泛应用。可分辨出材 料、元器件内部的裂纹、空洞、气泡、分层缺陷、杂质等。

德国PVA TePla所拥有的顶尖制造和众多的专利确立了其在超声扫描显微镜领域中难以逾越的领导地位,主要体现在:

1、将现代薄膜技术引入了超声换能器的制造,使得换能器的频率达到世界领先地位,最高频率可以达到2000MHz, 采用薄膜技术制造的其他频率的换能器与传统的压电陶瓷技术制造的换能器相比,可以做到外径更小、分辨率更高、穿透能力更强、使用寿命更长;

2、最新研发的超声波信号滤波器、前置放大器,使超声波扫描显微镜达到前所未有的图像分辨率,2000MHz(2GHz)最高分辨率可达0.2um;

3采用世界上最先进的高速线性马达驱动电机,使超声波扫描显微镜的重复精度可以达到0.05微米,实际可用扫描速度达到2000mm/秒;

4拥有世界专利技术的多探头超声波扫描显微镜,可同时对多个样品进行扫描,或对一个大尺寸的样品进行分区扫描,然后再图像组合,极大提高检测效率,为现今的芯片、MEMSIGBT、晶圆键合、元器件、SMT焊接器件等需要大批量检测的应用领域提供了最好的解决方案;

5拥有世界专利的自动对焦技术,在多探头的扫描系统中,每一个探头都能实现自动对焦,从而大大地降低了人工对焦的操作负担。

SAM302外观图2


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